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高純氦氣選專用氣體閥門
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高純氦氣設(shè)備選擇，使用高純氦氣時(shí)，要確保連接的管道、閥門和用氣設(shè)備具有良好的氣密性。高純氦氣管道可采用不銹鋼材質(zhì)的無(wú)縫管，閥門應(yīng)選用高精度、密封性能好的專用氣體閥門。
高純氦氣用氣設(shè)備在使用前要進(jìn)行嚴(yán)格的氣密性檢查和清洗，以去除可能存在的雜質(zhì)和水分。
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